FM-FFS自由曲面反射镜、曲面盖板玻璃检测系统

FM-FFS200自由曲面三维面型检测系统概述

产品功能

光学元件表面的三维面型测量、面型逆向和面型轮廓精度质量评价

检测对象

自由曲面反射镜、曲面盖板玻璃、玻璃面板、透镜、精密磨具、晶圆硅片等

面向行业

HUD、AR、精密光学及3D曲面玻璃等领域的生产企业或研发机构

FFS三维面型检测系统产品特点

1、自由曲面反射镜及其它光学元件表面的光学非接触、全场 3D 轮廓测量。

2、测量过程简单,无需精密调整样品姿态, 单件测量时间一般小于 20 秒；检测效率远远优于三坐标和 UA3P 等接触式三维检测设备，适合用于自由曲面光学面的全检。

3、基于CAD模型或者方程式的三维面型数据比对分析，可自动完成面型质量评价，输出信息完善：

包含完善的3D误差分布图、上下公差比例计算、PV 和 RMS 值、3D 显示、曲率分析、斜率误差以及凹凸分析。

4、完备的拟合分析：xy 多项式、Zernike、Legendre 拟合分析，可用于自由曲面零件的三维逆向分析以及注塑缺陷工艺分析。

5、丰富的 2D、3D 表面瑕疵分析功能：可以分析麻点，划痕，刀纹，流纹以及塌边等常见的注塑缺陷。可以提供暗场缺陷分析。可以根据用户需求开发统计功能。

6、丰富的线性尺寸分析功能，可以分析整体线性尺寸和缺陷尺寸，并输出报告。

7、单点车刀痕纹理误差的三维定量分析，用于零件和模具表面彩虹纹和刀纹三维定量分析单点车反射镜面型误差测量结果（和激光干涉仪比较）PV=0.45um

8、完善的测量输出功能（测量原始数据输出、可订制化检测报告输出以及 Log 统计文件输出），可根据用户需求订制输出报告的内容格式。

FFS三维检测系统技术参数

测量模块

技术指标

1、光学自由曲面三维面型检测系统（标准模式）

标准模块

特点：

• 大视场，适应大多数反射镜零件测量
• 最大测量视场:400x250mm，横向采样分辨率达到 0.2mm
• 光学面型数据单次测量不确定度: +/-2um，样品倾角范围+/-15度
• 包含研究型检测功能和一键式检测功能

2、高分辨测量模式，镜面三维检测

标准模块

特点：高横向分辨率、较高陡度、适合较大陡度和凸面测量

高分辨测量模式技术参数：

• 最大测量视场： 300mmx150mm 横向采样可达 0.05mm
• 光学面型单次测量不确定度: +/-2um
• 陡度范围+/-30 度

3、结构光测量模式，漫反射表面三维检测

可选购，集成于模块 1 中

特点：镜面喷粉测量、漫反射表面检测、夹具检测

结构光漫射表面三维测量技术参数：

• 单次测量区域：150mmX150mmX50mm（可拼接）
• 测量精度 0.01mm

4、在线型测量模式

• 可根据用户需求定制
• 一键式三维面型测量及误差分析（一般周期 40s 内）
• 流水线式检测
• 可根据用户需求开发协作机械臂辅助无人化自动检测